在光伏與新能源材料產業技術升級浪潮中，青島芯笙微納電子科技有限公司憑借自主研發的S300系列氣體質量流量計及配套解決方案，持續為化學氣相沉積(CVD)、硅碳復合材料制備、鋰電負極材料合成等關鍵工藝提供高可靠性氣體測控支持。通過核心技術自主化與工藝場景深度適配，已助力多家行業客戶實現產線良率提升與綜合成本優化。
一、CVD硅碳負極制備核心設備的氣體控制突破
在硅碳負極主流制備工藝中，芯笙微納針對回轉爐與流化床兩類核心設備開發專項解決方案：
1.回轉爐氣體環境精密調控
在連續式回轉爐硅碳沉積工藝中，S300系列通過以下創新保障硅烷(SiH?)、乙炔(C?H?)、氮氣(N?)的精準配比：
- 多氣體兼容性：流道表面經碳化硅涂層處理，耐受硅烷腐蝕性分解產物
- 動態響應優化：1秒內階躍響應速度匹配回轉爐周期性翻轉工況
- 安全聯鎖機制：與爐內壓力傳感器聯動，硅烷濃度超限時自動切斷供氣
2.流化床工藝氣體穩定輸送
針對流化床中氣固兩相流擾動難題，S300 P300壓力控制器系統實現三重保障：
- 壓力補償控制：P300實時調整供氣壓力，抵消流化床壓差波動(最小控制精度±0.24kPa)
- 乙炔安全控制：通過本安CT4防爆認證，在乙炔-氮氣混合氣體中連續運行超8000小時
二、關鍵反應氣體的精準流量控制
針對硅碳負極制備中高風險工藝氣體的特殊需求，青島芯笙微納建立專項技術壁壘：
硅烷(SiH?)控制
- 泄漏防護：全金屬密封結構 氦質譜檢漏工藝，泄漏率<1×10 -12 Pa·m3/s He
- 快速截止：配備氣動切斷閥，響應時間<50ms
乙炔(C?H?)控制
- 防爆設計：通過本安CT4防爆認證
- 流量控制穩定性：S300系列，重復精度≤±0.2%F.S.
氮氣(N?)載氣控制
- 大流量精度：S300系列MFC支持300SLM流量控制，精度±0.3%F.S.或1%S.P.
- 通訊協議：支持EtherCAT、Profibus、RS485等多種通訊
三、技術延伸與服務支撐
青島芯笙微納同步構建全流程服務體系：
- 氣體適配性測試：開放青島中心實驗室提供硅烷/乙炔專項測試
- 舊設備改造方案：存量進口MFC替換周期縮短至7個工作日
- 應急響應機制：華東、華北、西南、華南區域4小時內技術工程師到場支持
四、行業技術交流
4月25日-27日，芯笙微納將深度參與青島CVD硅碳負極材料技術大會(展位A04)，構建“技術研討-案例解析-產線實踐”三維交流平臺：
工藝氣體控制專題研討會(4月26日9:00)
- 特邀清華大學、中南大學、廈門大學、中科院、北京航空航天大學、哈工大等高校教授及硅碳負極材料產業鏈專家學者、企業及技術人員，共同探討氣相沉積硅基負極技術的發展現狀、挑戰與未來前景。
- 芯笙微納首席科學家陶博士發布《針對硅碳負極材料的先進氣體測控技術研究》
青島芯笙產研基地開放日(4月26日-27日 全天)
- 參觀半導體級潔凈車間：S300系列全自動標定生產線。
- 材料沉積案例深度溝通：參與產線實踐班的企業享年度優先技術服務配額。
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